日本●配备了显示设定器，可实现DC24V单电源动作。●RS232C通信功能、累计功能为标准装备。●传感器发热部与气体不接触，可控制可燃性气体的流量。●除了SV设定外，还可进行5种模式设定。●搭载了自动调零、自动关断功能。●搭载14位转换器，可显示、操作4・1/2位。●通过高升降机致动器实现了小体积的大流量。●研究机构的燃气消费量等成本管理。●控制管球密封生产线的燃烧气体。●最大流量：500 SCCM●对象流体：空气●连接尺寸：Rc1/4●精度：±1%F.S以内●耐压保证：980kPa●响应性：0→98%2秒以下●输入・输出信号：0～5V●耐压（KPa）：980●供给压力（MPa）：0.1●动作差压范围：F.S≤5SLM50～300kPa、F.S＞5SLM100～300kPa●主体：不锈钢（SUS316）●Pa氟橡胶
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