日本●减压、加压两用隔膜型泵。●管道到进气口的话可以作为真空泵，管道到排气口的话可以作为加压泵使用。●加压压力为150kPa。●吸附输送、吸附固定、真空镊子。●分析机器、理化学机器。●半导体检查装置。●设备组装。●自动机、包装机。●排气速度（L/min）50/60Hz:15/18●到达压力（Pa）：39.9×10〔〔〔3乘〕●吸气口径（mm）：9●电源（V）：单相100●噪声值（dB）：-●全宽×全长×全高（mm）：115×178.5×153.5●尺寸（mm）：115×178.5×153.5●减压・加压两用●加压压力：150kPa●1段排气方式●加压（计压）（MPa）：0.150
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