利用日本●橡胶薄膜（隔膜）的往返运动进行排气的真空泵。●接气部不使用油、水等的干真空泵。内置了热保护器，也考虑到了安全方面。●结构简单，维护也容易。●吸附输送、吸附固定、真空镊子。●分析机器、理化学机器。●半导体检查装置。●设备组装。●自动机、包装机。●排气速度（L/min）50/60Hz：100/110●到达压力（Pa）：13.3×10〔〔〔3乘〕●吸气口径（mm）：12●电源（V）：单相100●噪声值（dB）：-●全宽×全长×全高（mm）：150×232×305●尺寸（mm）：150×232×305●从一台向异电压分别作对应（DAL-181D/DAL-361S除外）●高速高压用0
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