利用日本●橡胶薄膜（隔膜）的往返运动进行排气的真空泵。●接气部不使用油、水等的干真空泵。内置了热保护器，也考虑到了安全方面。●结构简单，维护也容易。●吸附输送、吸附固定、真空镊子。●分析机器、理化学机器。●半导体检查装置。●设备组装。●自动机、包装机。●排气速度（L/min）50/60Hz：50/55●到达压力（Pa）：3.3×10〔〔〔3乘〕●吸气口径（mm）：12●电源（V）：单相100●噪声值（dB）：-●全宽×全长×全高（mm）：150×232×305●尺寸（mm）：150×232×305●从一台向异电压分别作对应（DAL-181D/DAL-361S除外）●到达压力（KPa）：3.3●吸排气管直径（mm）：O。D.φ12×I.D.φ8（Rc1/4）●最大尺寸（mm）：150（W）×232（L）×305（H）0
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