日本●进一步追求隔膜型真空泵的到达压力性能。●通过将多个泵头按3段式进行配管，实现了通常的隔膜型无法得到的到达压力。●广域型涡轮分子泵、克莱夫泵排气系统、机械升压泵的后泵。●锁路室排气。●吸附搬运、处理。●用于激光气体循环和排气。●真空干燥装置、连接真空干燥装置●排气速度（L/min）50/60Hz：20/23●到达压力（Pa）：200●吸气口径（mm）：10●电源（V）：单相100●噪声值（dB）：-●全宽×全长×全高（mm）：161×327×217●尺寸（mm）：161×327×217●3段排气方式●接气部耐腐蚀性●从一台不同电压对应●到达压力（KPa）：0.2●吸排气管直径（mm）：O.D.φ10×I.D.φ6（Rc1/8）●最大尺寸（mm）：161（W）×327（L）×218（H）0
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